目前，無損超光滑表面的藍(lán)寶石晶片表面加工工藝最好的方法是化學(xué)機械拋光。眾所周知，藍(lán)寶石襯底其材料的脆性大，硬度僅次于金剛石，在對其進行機械加工十分困難，而要求無損傷超光滑表面技術(shù)更加復(fù)雜。通常超光滑、無損傷的表面是指：表面粗糙度小于1nmRMS 的表面；無損表面則是：加工表面不能有加工變質(zhì)層，且表面晶格完整。那么方達(dá)旗下的陶瓷拋光機在加工藍(lán)寶石晶片時能達(dá)超光滑的鏡面效果，是怎樣的化學(xué)機械拋光機理。化學(xué)機械拋光是一個復(fù)雜的多反應(yīng)，它存在著兩個動力學(xué)過程:

拋光首先使吸附在拋光布上的拋光液中的化學(xué)物質(zhì)與晶片表面進行化學(xué)反應(yīng)。

2.解吸過程

在藍(lán)寶石晶片拋光過程中，主要發(fā)生水解反應(yīng)，酸與堿的中和反應(yīng)及鹽的復(fù)分解反應(yīng)。在整個化學(xué)機械過程中，化學(xué)反應(yīng)的作用是影響藍(lán)寶石表面的晶格完整和表面粗糙度和平面度的主要因素，而機械作用是影響表面粗糙度和平面度的主要因素。粗糙度和平面度與拋光壓力，拋光盤的運動軌跡相關(guān)。通過化學(xué)反應(yīng)與機械作用則能獲得鏡面超光滑的晶片表面。

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